ZEISS XENOS

XENOS de ZEISS incorpora dos accionamientos lineales en la dirección Y, que se sincronizan mediante una nueva tecnología desarrollada por ZEISS: el accionamiento central. Garantiza una distribución óptima de la fuerza de los accionamientos en función de la posición del eje X.

Esto es posible gracias a la última generación de controladores y algoritmos. Es un elemento clave para lograr la máxima precisión y la mejor adherencia posible de la trayectoria en todo el campo de medición.

ZEISS XENOS utiliza accionamientos lineales en todos los ejes. Las ventajas: altas velocidades, aceleraciones muy rápidas, gran precisión de posicionamiento y accionamientos sin fuerza de cizallamiento. Junto con las escalas de alta resolución, el uso de accionamientos lineales en ZEISS XENOS proporciona una adherencia de trayectoria muy alta y una precisión de posicionamiento extremadamente alta por debajo de los 100 nanómetros.

Por ejemplo, la desviación del palpador permanece más constante, lo que se traduce en una mayor precisión. Otra ventaja es evidente cuando se miden superficies curvas: cuanto más fiable y preciso sea el palpador al seguir la trayectoria especificada, con mayor precisión podrán determinarse los errores.
 

ZEISS XENOS utiliza una innovadora cerámica de carburo de silicio para las partes de la estructura de la máquina relevantes para la precisión. Hasta ahora, este material rara vez se había utilizado para un tamaño de pieza o una precisión comparables.

En comparación con la cerámica de óxido de aluminio estándar, la cerámica de carburo de silicio presenta una dilatación térmica aproximadamente un 50 por ciento menor, una rigidez hasta un 30 por ciento mayor y un 20 por ciento menos de peso. En comparación con el acero, ofrece el doble de rigidez en ha